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重生2010:我加点做大佬 第535节 (第6/7页)
刻胶在最佳条件下进行曝光,包括过滤器和温度控制器等。 测量系统,用于检测硅片的位置和旋转,以及曝光后的质量和厚度等参数。通常由传感器和计算机接口组成,以提供实时反馈并调整曝光台的位置和参数……” 何婷波既是管理人员,又是专业的技术人员出身,谈到烛龙光刻机,自然是高谈阔论,满是自信之色。 一台光刻机的内部组件除了曝光台外,还有激光器、光束矫正器、能量控制器、掩膜台和物镜等十几种大型零配件,如果让她一一解读,这场发布会估计要开个两天两夜。 因此,何婷波在介绍完曝光台的结构后,凝思片刻道: “烛龙10800 euv光刻机采用13.5纳米波长的euv光源,相比传统的深紫外光刻技术,具备更高的光学分辨率和更低的纹影效应,这也是它能支持7纳米和5纳米芯片生产的基础。 首先,euv光源的功率达到了55瓦,可提供强大稳定的光源,保证良好的曝光效果和超高的生产能力。 其次,具备每小时160片晶圆的生产能力,能满足高强度、大规模的芯片生产需求。 再次,精确的光学成像系统,能够准确地将芯片设计图案投射到硅晶圆上,拥有高分辨率和低畸变的优异特点,极大降低了生产不良率。 最后,先进的智能控制系统,能够实时监测和调整光刻过程中的关键参数,确保稳定的生产效率,才能获得品质一致的芯片产品。” 何婷波说到这里时,直接切换投屏画面,放出了烛龙10800 euv光刻机的定价系统。 国内版2
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